激光二維光學(xué)平臺(tái)是集成激光技術(shù)、精密機(jī)械與光學(xué)調(diào)節(jié)系統(tǒng)的核心載體,主要用于在二維平面(通常為 X-Y 軸方向)內(nèi)實(shí)現(xiàn)激光束的精準(zhǔn)操控、樣品的精密移動(dòng)或激光與樣品的相對(duì)位置調(diào)節(jié),是激光加工、精密測(cè)量、光學(xué)實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域的基礎(chǔ)設(shè)備。其核心價(jià)值在于依托激光的高方向性和平臺(tái)的高精度運(yùn)動(dòng) / 調(diào)節(jié)能力,實(shí)現(xiàn) “激光 - 目標(biāo)” 在二維空間內(nèi)的可控交互,滿足微米級(jí)甚至納米級(jí)的精度需求。
激光二維光學(xué)平臺(tái)的本質(zhì)是 **“激光路徑控制” 與 “二維空間定位” 的結(jié)合體 **:
簡(jiǎn)單來說,它就像 “激光的精密工作臺(tái)”—— 既能讓激光 “瞄準(zhǔn)” 二維平面內(nèi)的任意點(diǎn),也能讓樣品在激光下按規(guī)律移動(dòng),最終實(shí)現(xiàn)激光對(duì)目標(biāo)的可控加工、掃描或探測(cè)。
激光二維光學(xué)平臺(tái)的性能取決于各組件的協(xié)同工作,主要包括以下模塊: